Anwendungsbezogene Herausforderungen
- Hochpräzise Messung der 3D-Form und Höhe jedes einzelnen BGAs
- Erkennung von Kontaminationen und Defekten auf der Substratoberfläche
- 100% Inline-Inspektion
- Schnellste Geschwindigkeit, hoher Produktionsdurchsatz
3D Lösungen
- 3DPIXA dual
- Kombinierte Beleuchtung: diffuses Röhrenlicht + Hellfeld + Dunkelfeld
- GPU beschleunigte Hochgeschwindigkeits-3D-Datenrekonstruktion
- Hochpräzise Messung
- Skalierbarer großer FOV von 35 bis 150mm
- Hoher Dynamikbereich
- BGA-Höhen- und Formmessung
- Hellfeld- und Dunkelfeld-Beleuchtung zur Inspektion der Substratoberfläche
- Geringe Okklusion im Vergleich zur Laser-Triangulation