Die Erfassung von Defekten ist für den Ertrag von Halbleiterwafer-Bauteilen entscheidend. Hier beschreiben wir, wie die Halbleiterwafer-Herstellung die Vorteile der ultrahohen Auflösung von 15.360 Pixeln und die reichhaltigen Funktionen der allPIXA wave nutzen kann, um die Vorteile der Inline-Inspektionssysteme zu nutzen.

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