Halbleiter-Wafer-Prüfung mit allPIXA wave
Die Erfassung von Defekten ist für den Ertrag von Halbleiterwafer-Bauteilen entscheidend. Hier beschreiben wir, wie die Halbleiterwafer-Herstellung die Vorteile der ultrahohen Auflösung von 15.360 Pixeln und der reichhaltigen Funktionen von Inline-Inspektionssystemen allPIXA wave trilineare Farb- und Mono-TDI-Zeilenkamera nutzen kann.